GASS立式甩干機
GASS立式甩干機是高潔凈度沖洗甩干設備，具有高潔凈沖洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特點，不同品圓尺寸，可通過快速更換轉子來實現。是濕法清洗工藝的主要設備，設備本身有單腔室和雙腔室2種結構，體型小運行平穩。其主要用于2-8英寸半導體品圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。
GASS立式甩干機
GASS立式甩干機是高潔凈度沖洗甩干設備，具有高潔凈沖洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特點，不同品圓尺寸，可通過快速更換轉子來實現。是濕法清洗工藝的主要設備，設備本身有單腔室和雙腔室2種結構，體型小運行平穩。其主要用于2-8英寸半導體品圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。
